Московский государственный университет леса
ИНСТИТУТ СИСТЕМНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ ЛЕСА
ИНФОРМАЦИЯ
АДРЕС ТЕЛЕФОН ФАКС
ПОЧТА для ИСИЛ |
ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ УСТАНОВКА НА ОСНОВЕ СВЧ-ЭЦР РАЗРЯДА
Установка предназначена для производства изделий микроэлектроники нового поколения - с субмикронными размерами элементов. Изменяемая конфигурация магнитного поля позволяет получать на одной установке параметры плазмы, необходимые для различных циклов плазменной технологии: очистки и подготовки поверхности подложки, травления и напыления тонких пленок.Автоматизированная система диагностики, включающая зондовые, оптические, масс-спектрометрические измерения, позволяет контролировать процесс обработки.
Вакуумная камера состоит из источника плазмы (диаметр 15 см, длина 25 см) и плазмохимического реактора (диаметр 35 см, длина 60 см). На установке получена плазма с концентрацией более 1011 см -3 на расстоянии 30 см от источника с однородностью 5% на диаметре до 200 мм и энергией ионов не более 15 эВ, что позволяет эффективно обрабатывать подложки диаметром до 200 мм.
Разработана технология металлизации субмикронных тренчей и сквозных отверстий с аспектным отношеним 1-3 с использованием ионизации распыленных атомов металла. Степень ионизации распыленных атомов алюминия достигает 30%, вклад потока ионов алюминия в полный поток металла на подложку до 75%. Скорость напыления достигает 100 нм/с.
Руководитель Полуэктов Николай Павлович, тел. 588-57-24
|
ДИРЕКТОР Шалаев Валентин Сергеевич СОСТАВ УЧЕНОГО СОВЕТА ИСИЛ Шалаев В.С. - профессор, д.т.н., председатель совета ЧЛЕНЫ СОВЕТА Батырев Ю.П. - доцент, к.т.н. Беляков В.А. - доцент, к.т.н. Бурков В.Д. - проф., д.т.н. Галкин Ю.С. - проф., д.т.н. Мозолевская Е.Г. - проф., д.б.н. Моисеев Н.А. - проф., д.с.-х.н. Степанов И.М. - проф., д.т.н. Тепляков В.К. - проф., к.с.-х.н. Федотов Г.Н. - проф., д.б.н. Хуторова Н.А. - доцент, к.э.н. Чумаченко С.И. - проф., д.б.н УЧАСТНИКИ РАССЫЛКИ ИСИЛ shalaev@mgul.ac.ru batyrev@mgul.ac.ru burkov@mgul.ac.ru chumachenko@mgul.ac.ru chumachenko.s.i@gmail.com galkin@mgul.ac.ru istepanov@mgul.ac.ru khutorova@mgul.ac.ru caf-ecolog@mgul.ac.ru gennadiy.fedotov@gmail.com guis@list.ru legion_o@mail.ru moiseev@mgul.ac.ru teplyakovv@gmail.com victorteplyakov@mail.ru belyakov@mgul.ac.ru |
Для контактов, тел/факс:
(+7 095) 586-91-34, (+7 095) 586-91-67
Директор ИСИЛ - Шалаев В.С.
shalaev@mgul.ac.ru